主要用于對(duì)半導(dǎo)體硅晶圓、化合物半導(dǎo)體晶圓(SiC、GaAs、GaP等)、氧化物半導(dǎo)體晶圓(LiTaO3 等)等半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行高效、精密劃切,實(shí)現(xiàn)芯片單體化。
刀刃部分采用精密電鑄工藝制備而成,刀刃厚度范圍:10μm~100μm,微粉粒徑范圍:1500#~5000#。
擁有6檔磨粒集中度等級(jí),適用晶圓種類(lèi)范圍更廣;具有出色的通用性,能夠適應(yīng)各種復(fù)雜場(chǎng)景的劃切需求,包括切割道內(nèi)含有金屬、 Pl/PO等各類(lèi)工況;在切割水含有CO2的環(huán)境中,表現(xiàn)出優(yōu)秀的耐腐蝕性能;在劃切超厚晶圓時(shí)(如晶圓級(jí)封裝芯片),槽型可穩(wěn)定保持垂直狀態(tài)。