主要用于硅、碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、鍺、藍(lán)寶石等半導(dǎo)體晶圓以及超薄液晶玻璃的倒邊加工。
可提供金屬結(jié)合劑和樹脂結(jié)合劑兩類金剛石倒邊砂輪。通過自創(chuàng)的多體系砂輪配方庫，針對(duì)半導(dǎo)體晶圓以及超薄液晶玻璃等不同硬脆材料、不同尺寸精度加工有不同的設(shè)計(jì)方案，可進(jìn)行精準(zhǔn)匹配，能夠滿足倒邊加工的超精密、超高表面質(zhì)量要求，達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。
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