主要用于LED襯底片、外延片的背面研磨、拋光制程。
由高純氧化鋁粉燒結(jié)而成，具有硬度高、精度高、形狀保持性好、無(wú)需修整、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，特別適用于晶圓或芯片等精度要求高的產(chǎn)品的研磨拋光制程，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)研磨盤(pán)的在線(xiàn)高精修整和對(duì)研磨液的均勻分散。
可按標(biāo)準(zhǔn)Q/ZMS029—2008提供陶瓷修整環(huán)，外徑范圍：φ182-576 mm，并可根據(jù)用戶(hù)要求設(shè)計(jì)和制造各種非標(biāo)產(chǎn)品。主要配套設(shè)備：創(chuàng)技、NTS、凱勒斯、捷斯奧等廠家的研磨機(jī)、拋光機(jī)。
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