主要用于大尺寸、高品質(zhì)單晶/多晶金剛石的生產(chǎn)制造。該產(chǎn)品采用全新一代碟形腔設(shè)計(jì)，是目前國內(nèi)唯一大規(guī)模應(yīng)用的碟形腔式方案。
實(shí)現(xiàn)了2450MHZ和915MHZ 兩大系列全覆蓋，系列產(chǎn)品包括DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-50K-D、DiaCentre-75K-D等。 具有成熟、可靠性高、批量致性好、腔體易潔操作、可避免石英刻蝕污染、等離子體覆蓋面積大的突出特點(diǎn)。
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